우주, 항공, 원자력, 자동차 등에 사용되는 전자기기는 방사선이나 열, 진동 등에 강해야 한다. 이런 환경에 견딜 수 있는 반도체 소자를 내환경강화소자라고 한다. 내환경강화소자의 종류로는 실리콘 반도체 집적 회로의 MOS(금속산화막)형, 바이폴라형, 화합물 반도체 집적회로에서 내방사선성이 있다고 보이는 갈륨·비소 그리고 내열성을 목표로 한 탄화규소 소자 등이 있다.