LSI는 집적회로(IC)의 일종으로 손가락 끝에 올려놓을 수 있을 정도로 작은 실리콘 기판(基板) 위에 트랜지스터나 다이오드 등을 1,000개 이상 가득 채운 반도체 소자. 초 LSI의 정의는 명확하지 않지만 10만에서 100만개 정도의 트랜지스터를 담은 LSI를 가리킨다. 이 정도 다수의 부품을 1개의 작은 기판 위에 만드는 것은 현재의 빛을 이용한 반도체 제조기술로는 어렵기 때문에 전자빔이나 X선을 사용한 신기술의 도입이 기대되고 있다. 장래 전자공학을 좌우하는 중요 기술로 성장할 것으로 보여진다.